刻蚀工艺超大视场角衍射波导器件突破 广纳四维荣获元宇宙创新硬件奖

lhw 2023年8月21日17:26:05
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广纳四维凭借基于刻蚀工艺制备的110°超大视场角AR衍射光波导近眼显示器件,荣获元宇宙创新硬件奖(AR方向)。

8月20日FMIF2023在南京召开,在大会同期FMIF AWARDS颁奖典礼上,广纳四维凭借基于刻蚀工艺制备的110°超大视场角AR衍射光波导近眼显示器件,荣获元宇宙创新硬件奖(AR方向)。

刻蚀工艺超大视场角衍射波导器件突破 广纳四维荣获元宇宙创新硬件奖

此次FMIF2023未来元宇宙创新论坛,广纳四维携刻蚀工艺制备的单目110°、单目60°等多款衍射光波导器件产品亮相南京国际博览中心7号馆A12展位。

刻蚀工艺超大视场角衍射波导器件突破 广纳四维荣获元宇宙创新硬件奖

在AR表面浮雕光栅技术领域,广纳四维不仅具备成熟的光学软件-光学设计-模板制备-压印-封装全链条纳米压印加工能力,同时还基于自身光刻和刻蚀工艺优势来制备衍射光波导器件。通过采用特殊创新材料自研纳米加工工艺,在衍射光波导器件上实现了大FOV的突破——单眼的衍射光波导器件FOV最大可达110°;同时也有效提升了波导片的光学性能,使得在同等FOV条件下,漏光、色散、色彩及亮度均匀性等光学性能指标可以做到更优。

广纳四维的110°超大FOV波导片,采用自主设计的"蘑菇森林"作为耦入区域光栅设计通过DUV大面积光刻以及RIBE刻蚀技术,对高折射率无机材料进行纳米加工,从而实现110°的超大视场角。

面对可能出现的技术挑战或行业变革,广纳四维将通过在光学设计、材料、工艺等方面的不断积累,保持自身技术的领先性。并与行业上下游合作伙伴携手共进,共同探索AR衍射光波导和微纳光学器件的未来的发展和迭代方向。

 

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